The Enhanced Role of Shallow-Trench Isolation in Ionizing Radiation Damage of 65 nm RF-CMOS on SOI

The mechanism for ionizing radiation damage in multi-finger SOI CMOS devices is presented for the first time. We analyzed the effects of shallow-trench isolation on ionizing radiation response of 65 nm Silicon-On-Insulator (SOI) CMOS technology. The radiation response of the CMOS devices was investi...

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Veröffentlicht in:IEEE transactions on nuclear science 2009-12, Vol.56 (6), p.3256-3261
Hauptverfasser: Madan, A., Verma, R., Arora, R., Wilcox, E.P., Cressler, J.D., Marshall, P.W., Schrimpf, R.D., Cheng, P.F., Del Castillo, L.Y., Qingqing Liang, Freeman, G.
Format: Artikel
Sprache:eng
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