Inexpensive and fast wafer-scale fabrication of nanohole arrays in thin gold films for plasmonics

In this paper, a fast and inexpensive wafer-scale process for the fabrication of arrays of nanoscale holes in thin gold films for plasmonics is shown. The process combines nanosphere lithography using spin-coated polystyrene beads with a sputter-etching process. This allows the batch fabrication of...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Nanotechnology 2010-05, Vol.21 (20), p.205301-205301
Hauptverfasser:	Klein, Mona J K, Guillaumée, Mickaël, Wenger, Bernard, Andrea Dunbar, L, Brugger, Jürgen, Heinzelmann, Harry, Pugin, Raphaël
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Arrays Beads Gold Nanocomposites Nanomaterials Nanostructure Plasmonics Thick films Thin films
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!