Modified TiAlN coatings prepared by d.c. pulsed magnetron sputtering

Coatings like TiN or TiAlN are well established as hard and wear resistant tool coatings. These coatings often are prepared by PVD techniques like arc evaporation or d.c. magnetron sputtering. Typical micro hardness values of such hard coatings are in the range of 30 GPa. Compared to d.c. magnetron...

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Veröffentlicht in:Surface & coatings technology 2010-11, Vol.205 (5), p.1273-1278
Hauptverfasser: Keunecke, M., Stein, C., Bewilogua, K., Koelker, W., Kassel, D., den Berg, H. van
Format: Artikel
Sprache:eng
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