Towards fast femtosecond laser micromachining of fused silica: The effect of deposited energy
Femtosecond laser micromachining of glass material using low-energy, sub-ablation threshold pulses find numerous applications in the fields of integrated optics, lab-on-a-chips and microsystems in general. In this paper, we study the influence of the laser-deposited energy on the performance of the...
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| Veröffentlicht in: | Optics express 2010-09, Vol.18 (20), p.21490-21497 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | eng |
| Online-Zugang: | Volltext |
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