Analysis of 355 nm Nd:YAG laser interaction with patterned flexible circuit substrates

This paper describes a new approach in modeling the interaction and ablation mechanisms of 355 nm Nd:YAG laser and polyimide material. Generating micro-structures by laser micromachining of in-homogeneous patterned flexible substrates is limited because only a rough estimation on etch rate is possib...

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Veröffentlicht in:Periodica Polytechnica Electrical Engineering 2008, Vol.52 (1-2), p.31-37
Hauptverfasser: Gordon, Péter, Balogh, Bálint, Sinkovics, Bálint, Illyefalvi-Vitéz, Zsolt
Format: Artikel
Sprache:eng
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