Integrated optical grating scale readout employing a double grating

A reading head empolying a double grating in a monomode waveguide for the interferometric readout of grating scales is proposed and demonstrated. A theoretical analysis employing a ray-tracing programthat includes wave-front data output shows promising insensitivity to deviations from the design dat...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Applied Optics 1992-09, Vol.31 (25), p.5241-5245
Hauptverfasser:	Geh, B, Dorsel, A
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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