Linear approximation for measurement errors in phase shifting interferometry

This paper shows how measurement errors in phase shifting interferometry (PSI) can be described to a high degree of accuracy in a linear approximation. System error sources considered here are light source instability, imperfect reference phase shifting, mechanical vibrations, nonlinearity of the de...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Applied Optics 1991-07, Vol.30 (19), p.2718-2729
Hauptverfasser:	van Wingerden, J, Frankena, H J, Smorenburg, C
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!