Phase-shifter calibration and error detection in phase-shifting applications: a new method

The phase-shifting technique is used in optical metrology to evaluate the local phase of a fringe pattern. Accurate calibration of the shifting device is often essential but sometimes hardly possible because of deviations of the fringe pattern from the ideal sinusoidal shape and because of a noncons...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Applied Optics 1998-11, Vol.37 (32), p.7624-7631
Hauptverfasser: Gutmann, B, Weber, H
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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