Phase-shifter calibration and error detection in phase-shifting applications: a new method
The phase-shifting technique is used in optical metrology to evaluate the local phase of a fringe pattern. Accurate calibration of the shifting device is often essential but sometimes hardly possible because of deviations of the fringe pattern from the ideal sinusoidal shape and because of a noncons...
Gespeichert in:
Veröffentlicht in: | Applied Optics 1998-11, Vol.37 (32), p.7624-7631 |
---|---|
Hauptverfasser: | , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Schreiben Sie den ersten Kommentar!