3-dimensional electrode patterning within a microfluidic channel using metal ion implantation

The application of electrical fields within a microfluidic channel enables many forms of manipulation necessary for lab-on-a-chip devices. Patterning electrodes inside the microfluidic channel generally requires multi-step optical lithography. Here, we utilize an ion-implantation process to pattern...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Lab on a chip 2010-01, Vol.10 (6), p.783-788
Hauptverfasser:	Choi, Jae-Woo, Rosset, Samuel, Niklaus, Muhamed, Adleman, James R, Shea, Herbert, Psaltis, Demetri
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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