Microellipsometer with radial symmetry

We report on a novel microellipsometer that uses a spatially filtered high-numerical-aperture (NA) lens for large-angle ellipsometric illumination and high spatial resolution. A radially symmetric ellipsometric signal is achieved with two half-wave plates to produce a pure polarization rotation and...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Applied Optics 2002-08, Vol.41 (22), p.4630-4637
Hauptverfasser:	Zhan, Qiwen, Leger, James R
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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