Ion-beam sculpting at nanometre length scales

Manipulating matter at the nanometre scale is important for many electronic, chemical and biological advances 1 , 2 , 3 , but present solid-state fabrication methods do not reproducibly achieve dimensional control at the nanometre scale. Here we report a means of fashioning matter at these dimension...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Nature (London) 2001-07, Vol.412 (6843), p.166-169
Hauptverfasser: Li, Jiali, Stein, Derek, McMullan, Ciaran, Branton, Daniel, Aziz, Michael J., Golovchenko, Jene A.
Format: Artikel
Sprache:eng
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