Ion-beam sculpting at nanometre length scales
Manipulating matter at the nanometre scale is important for many electronic, chemical and biological advances 1 , 2 , 3 , but present solid-state fabrication methods do not reproducibly achieve dimensional control at the nanometre scale. Here we report a means of fashioning matter at these dimension...
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Veröffentlicht in: | Nature (London) 2001-07, Vol.412 (6843), p.166-169 |
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Hauptverfasser: | , , , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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Online-Zugang: | Volltext |
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