Fabrication of Nanoporous Templates from Diblock Copolymer Thin Films on Alkylchlorosilane-Neutralized Surfaces

The fabrication of nanoporous templates from poly(styrene)-b-poly(methyl methacrylate) diblock copolymer thin films (PS-b-PMMA, volume ratio 70:30) on silicon requires precise control of interfacial energies to achieve a perpendicular orientation of the PMMA cylindrical microdomains relative to the...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Langmuir 2006-12, Vol.22 (26), p.11092-11096
Hauptverfasser: Niemz, Angelika, Bandyopadhyay, Krisanu, Tan, Eric, Cha, Kitty, Baker, Shenda M
Format: Artikel
Sprache:eng
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