Ferroelectric Transistors with Nanowire Channel: Toward Nonvolatile Memory Applications
We report the fabrication and characterization of ZnO nanowire memory devices using a ferroelectric Pb(Zr0.3Ti0.7)O3 (PZT) film as the gate dielectric and the charge storage medium. With a comparison to nanowire transistors based on SiO2 gate oxide, the devices were evaluated in terms of their elect...
Gespeichert in:
Veröffentlicht in: | ACS nano 2009-03, Vol.3 (3), p.700-706 |
---|---|
Hauptverfasser: | , , , , , , , , , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Schreiben Sie den ersten Kommentar!