Wave propagation in pyramidal tip-like structures with cubic material properties

The three-dimensional wave propagation in cubic materials like silicon AFM tips is investigated numerically. The used VS-FDTD (Velocity Stress Finite-Difference Time-Domain) code is explained starting with the fundamental equations for the wave propagation in cubic materials. The discretisation, the...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Wave motion 2010, Vol.47 (1), p.33-44
Hauptverfasser:	Bryner, J., Vollmann, J., Aebi, L., Dual, J.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Anisotropic microstructures Finite-difference time-domain Laser acoustics MEMS inspection NDE of micro structures Wave propagation
Online-Zugang:	Volltext
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