Microchip Self-Assembly on a Substrate Using Plasma Treatment

This paper demonstrates a flux/2-ethyl-1-hexanol mixture capable of performing a self-assembly process. An /Ar plasma treatment controls the surface free energy of Si, leading to better self-assembly driven by capillary force. Hydrophobic bonding pads resulting from ODT (1-octadecanethiol) SAMs (sel...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:IEEE transactions on advanced packaging 2008-05, Vol.31 (2), p.404-409
Hauptverfasser: CHANG, Chia-Shou, UANG, Ruoh-Huey, WU, Enboa
Format: Artikel
Sprache:eng
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext bestellen
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!