6H-SiC Lateral JFETs for Analog Integrated Circuits

This paper reports fabrication and electrical characterization of 6H-SiC n-channel, depletion-mode, junction-field-effect transistors (JFETs) for use in high-temperature analog integrated circuits for sensing and control in propulsion, power systems, and geothermal exploration. Electrical characteri...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	Mehregany, Mehran, Garverick, Steven, Fu, Xiao An, Patil, Amita, Neudeck, Philip G., Beheim, Glenn M.
Format:	Tagungsbericht
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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