Self-induced oscillation of the macropore diameter in n-type silicon

Electrochemical etching of n‐type silicon in viscous‐electrolyte containing HF for macropore formation has been employed to obtain deep pores at high growth rates. Under certain conditions, a new kind of macropore growth has been observed. The macropore diameters show self‐induced anti‐phase oscilla...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Physica status solidi. C 2009-07, Vol.6 (7), p.1533-1535
Hauptverfasser:	Cojocaru, Ala, Carstensen, Jürgen, Leisner, Malte, Föll, Helmut, Tiginyanu, Ion
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	81.05.Rm 82.45.Vp 82.47.Wx 84.37.+q
Online-Zugang:	Volltext
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