Synthesis of nanostructured titanium nitride films by PLD through reactive processing
High quality TiN films were synthesised from elemental metallic target using reactive and plasma assisted pulsed laser deposition (RPLD and PAPLD) techniques. In these processes, a high pure titanium target is ablated using a nanosecond pulsed Nd:YAG laser operating at 1064 nm wavelength at differen...
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Veröffentlicht in: | Surface engineering 2009-04, Vol.25 (3), p.218-222 |
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Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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Online-Zugang: | Volltext |
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