Silicon nanowire sensor array using top–down CMOS technology

The paper elaborates the silicon nanowire (SiNW) arrays fabrication using standard CMOS compatible technologies (top–down) with each array consisting of 100 wires, which are individually electrically measurable for their conductance and facilitating statistical analysis. To facilitate real-time anal...

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Veröffentlicht in:Sensors and actuators. A. Physical. 2008-07, Vol.145-146, p.207-213
Hauptverfasser: Agarwal, Ajay, Buddharaju, K., Lao, I.K., Singh, N., Balasubramanian, N., Kwong, D.L.
Format: Artikel
Sprache:eng
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