The role of Ti interlayer in carbon nanotube growth
Vertically aligned multi-wall carbon nanotubes (CNTs) were grown on Ni/Ti/Si substrate by thermal chemical vapor deposition method in a microwave heating system. The results showed that vertically aligned CNTs could be uniformly grown on a large area substrate of 3 inch diameter. The Ti interlayer c...
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Veröffentlicht in: | Surface & coatings technology 2008-02, Vol.202 (10), p.2121-2125 |
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Hauptverfasser: | , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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