Ultrafast laser-enabled optoacoustic characterization of three-dimensional, nanoscopic interior features of microchips

•A new, ultrafast laser-enabled optoacoustic framework to “visualize” interior features of opaque microchips.•Demonstrated generation of picosecond ultrasonic bulk waves in aurum (Au)-gratings.•Nanoscopic characterization of Au-gratings in opaque microchips.•A femtosecond-laser pump–probe set-up for...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Ultrasonics 2025-02, Vol.146, p.107510, Article 107510
Hauptverfasser:	He, Yi, Luo, Guojie, Huang, Jie, Li, Yehai, Sohn, Hoon, Su, Zhongqing
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Femtosecond laser Picosecond ultrasonics Semiconductor metrology Ultrafast optoacoustics Ultrasonic characterization
Online-Zugang:	Volltext
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