Aerosol-Assisted Plasma Deposition of Barrier Coatings using Organic-Inorganic Sol-Gel Precursor Systems

Hybrid organic‐inorganic precursors and sol–gel systems thereof, obtained via wet‐chemical hydrolysis, were atomized and introduced into an atmospheric pressure dielectric barrier discharge (DBD) in nitrogen. The precursors used are tetraethoxysilane (TEOS), glycidoxypropyltrimethoxysilane (GLYMO),...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Chemical vapor deposition 2005-12, Vol.11 (11-12), p.491-496
Hauptverfasser:	Vangeneugden, D., Paulussen, S., Goossens, O., Rego, R., Rose, K.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Hybrid materials Hybrid materials, inorganic–organic inorganic-organic Sol-gels
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!