Vacuum-Assisted Microfluidic Lithography of Ceramic Microstructures
The method to fabricate complex shaped micro‐patterned ceramic structures has been developed. Vacuum‐assisted infiltrating the suspensions to the micro channels generated by the contact of polydimethylsiloxane mold to the substrate enables simple micro patterning of ceramics with complex structures...
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Veröffentlicht in: | Journal of the American Ceramic Society 2005-05, Vol.88 (5), p.1171-1174 |
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Hauptverfasser: | , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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Online-Zugang: | Volltext |
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