Vacuum-Assisted Microfluidic Lithography of Ceramic Microstructures

The method to fabricate complex shaped micro‐patterned ceramic structures has been developed. Vacuum‐assisted infiltrating the suspensions to the micro channels generated by the contact of polydimethylsiloxane mold to the substrate enables simple micro patterning of ceramics with complex structures...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Journal of the American Ceramic Society 2005-05, Vol.88 (5), p.1171-1174
Hauptverfasser: Ahn, Sung-Jin, Moon, Jooho
Format: Artikel
Sprache:eng
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Online-Zugang:Volltext
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