Determination of the valence band offset and minority carrier lifetime in Ge-rich layers on relaxed-SiGe
Capacitance–voltage ( C– V) technique is used to investigate the electronic properties of Si 0.3Ge 0.7 hetero layers deposited on fully relaxed-Si 0.4Ge 0.6. This is a fast and nondestructive method to determine important electronic properties, such as, apparent doping concentration, SiGe layer thic...
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Veröffentlicht in: | Thin solid films 2006-05, Vol.504 (1), p.73-76 |
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Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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Online-Zugang: | Volltext |
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