Determination of the valence band offset and minority carrier lifetime in Ge-rich layers on relaxed-SiGe

Capacitance–voltage ( C– V) technique is used to investigate the electronic properties of Si 0.3Ge 0.7 hetero layers deposited on fully relaxed-Si 0.4Ge 0.6. This is a fast and nondestructive method to determine important electronic properties, such as, apparent doping concentration, SiGe layer thic...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Thin solid films 2006-05, Vol.504 (1), p.73-76
Hauptverfasser: Chakraborty, S., Bera, M.K., Bhattacharya, S., Bose, P.K., Maiti, C.K.
Format: Artikel
Sprache:eng
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Online-Zugang:Volltext
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