Epitaxial n(+) layer GaAs mesa-finger interdigital surfacephotodetectors
Several varieties of interdigital surface photodetectors have been fabricated on semi-insulating GaAs using mesa-etched n( ) epitaxial layers as the carrier collection electrodes. This structure provides a significant responsivity improvement over conventional metal-semiconductor-metal (MSM) photodi...
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Veröffentlicht in: | IEEE electron device letters 1989-10, Vol.10 (10), p.461-463 |
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Hauptverfasser: | , , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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