Scanning Electron Microscopy Observations of Fractal Pattern Formation in Al/Ge Bilayer Films

The fractal pattern formation on the free surface of annealed Al/amorphous-Ge bilayer film deposited on a SiO2 substrate (Al/Ge/SiO2) was investigated with scanning electron microscopy (SEM). When the Al/Ge/SiO2 bilayer film is annealed at lower temperatures than the crystallization temperature of a...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Materials science forum 2004-03, Vol.449-452, p.445-448
Hauptverfasser: Masuo, Yoshihiko, Moritani, Tomokazu, Miura, Yuzo, Doi, Minoru, Takagi, Makoto, Imura, Toru
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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