Ultrathin diamond-like carbon films deposited by filtered carbon vacuum arcs

Ultrathin (

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	IEEE transactions on plasma science 2001-10, Vol.29 (5), p.768-775
Hauptverfasser:	Anders, A., Fong, W., Kulkarni, A.V., Ryan, F.W., Bhatia, C.S.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Amorphous magnetic materials Arc deposition Carbon Corrosion Density Diamond-like carbon Disks Elastic modulus Filters Macroparticles Magnetic films Magnetic memory Magnetic separation Plasma applications Protection Reduction Testing Wear resistance
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