YBa(2)Cu(3)O(7) superconductor microbolometer arrays fabricated by silicon micromachining

Linear arrays of YBa(2)Cu(3)O(7) transition edge microbolometers have been fabricated on silicon substrates using silicon micromachining to produce microbolometer structures with good thermal isolation. These bolometers, which are 85 mumx115 mumx1 mum, have a noise equivalent power (NEP) of 9x10(-13...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	IEEE transactions on applied superconductivity 1993-03, Vol.3 (1), p.2856-2859
Hauptverfasser:	Johnson, B R, Ohnstein, T, Han, C J, Higashi, R, Kruse, P W, Wood, R A, Marsh, H, Dunham, S B
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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