Sb and Bi surfactant effects on homo-epitaxy of GaAs on ( [formula omitted]) patterned substrates

Anisotropic lateral growth during GaAs ( 0 0 1 ) epitaxy can have dramatic effects on the evolution of patterned features and surface morphology. Many new opto-electronic devices require growth on patterned or non-ideal surfaces. Controlling lateral growth will be essential for the production of the...

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Veröffentlicht in:Journal of crystal growth 2004-05, Vol.265 (3), p.367-374
Hauptverfasser: Wixom, R.R., Rieth, L.W., Stringfellow, G.B.
Format: Artikel
Sprache:eng
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