Investigations on the blue-shift phenomena in argon plasma intermixed InGaAs/InGaAsP quantum well structures
In this paper, we present an attractive approach of argon plasma-induced quantum well intermixing for InP based heterostructures. The lattice-matched five quantum wells of InGaAs/InGaAsP grown by MOVPE exhibited a large blue shift with minimal line width broadening after plasma exposure and annealin...
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Veröffentlicht in: | Applied surface science 2004-10, Vol.237 (1-4), p.256-260 |
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Hauptverfasser: | , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Schlagworte: | |
Online-Zugang: | Volltext |
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