Characterization of surface micromachined metallic microneedles
The purpose of the paper is to provide quantitative characterization of metallic microneedles. Mechanical and fluid flow experiments were performed to evaluate the buckling force, the penetration force, and the pressure versus flow rate characteristics of the microneedles. The microneedle design var...
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Veröffentlicht in: | Journal of microelectromechanical systems 2003-06, Vol.12 (3), p.289-295 |
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Hauptverfasser: | , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Schlagworte: | |
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