Tunneling controlled field emission of boron nitride nanofilm

Hexagonal polycrystalline boron nitride (BN) films are synthesized on Si substrates by plasma assisted chemical vapor deposition. In the case of the BN films thicker than 20 nm, the turn-on electric field of the electron emission decreases with increasing surface roughness. It is suggested that elec...

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Veröffentlicht in:Diamond and related materials 2003-03, Vol.12 (3), p.464-468
Hauptverfasser: Sugino, Takashi, Kimura, Chiharu, Yamamoto, Tomohide, Funakawa, Shingo
Format: Artikel
Sprache:eng
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