Highly Reproducible Epitaxial Growth of Wafer‐Scale Single‐Crystal Monolayer MoS2 on Sapphire

2D semiconducting transition‐metal dichalcogenides (TMDs) have attracted considerable attention as channel materials for next‐generation transistors. To meet the industry needs, large‐scale production of single‐crystal monolayer TMDs in highly reproducible and energy‐efficient manner is critically s...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Small methods 2023-07, Vol.7 (7), p.e2300165-n/a
Hauptverfasser:	Yang, Pengfei, Liu, Fachen, Li, Xuan, Hu, Jingyi, Zhou, Fan, Zhu, Lijie, Chen, Qing, Gao, Peng, Zhang, Yanfeng
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	epitaxial growth single crystal transition‐metal dichalcogenides wafer‐scale
Online-Zugang:	Volltext
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