The influence of oxide and adsorbates on the nanomechanical response of silicon surfaces

In this article we report the influence of surface oxides and relative humidity on the nanomechanical response of hydrophobic and hydrophilic Si surfaces. Depth-sensing nanoindentation combined with force modulation enabled measurement of surface forces, surface energy, and interaction stiffness pri...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Journal of materials research 2000-02, Vol.15 (2), p.546-553
Hauptverfasser:	Syed Asif, S. A., Wahl, K. J., Colton, R. J.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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