Copper-doped vacuum evaporated chalcogenide layers as sensitive ion-selective membranes

The possibilities of using photodoped chalcogenide layers evaporated on standard Si/SiO 2/Si 3N 4 substrates as Cu ion sensitive membranes for ion selective field-effect transistors (ISFETs) are investigated. The optimal concentrations of the doped metals (Cu, Ag) are determined providing linearity...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Journal of non-crystalline solids 2000-05, Vol.266, p.985-988
Hauptverfasser:	Tomova, R, Spasov, G, Stoycheva-Topalova, R, Buroff, A
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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