Size-controlled colloidal Pd(II) catalysts for electroless Ni deposition in nanolithography applications
A new Pd(II) electroless metal deposition catalyst dispersion, PD2, prepared by quenching a PdCl sub 4 exp 2- solution with HCl and excess NaCl following rapid hydrolysis at pH approx =7 and approx =0.8 mM NaCl is described. The precursors to the catalytic Pd(0) species are shown to be chloride-rich...
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Veröffentlicht in: | Journal of the Electrochemical Society 1997-10, Vol.144 (10), p.3425-3434 |
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Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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Online-Zugang: | Volltext |
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