Size-controlled colloidal Pd(II) catalysts for electroless Ni deposition in nanolithography applications

A new Pd(II) electroless metal deposition catalyst dispersion, PD2, prepared by quenching a PdCl sub 4 exp 2- solution with HCl and excess NaCl following rapid hydrolysis at pH approx =7 and approx =0.8 mM NaCl is described. The precursors to the catalytic Pd(0) species are shown to be chloride-rich...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Journal of the Electrochemical Society 1997-10, Vol.144 (10), p.3425-3434
Hauptverfasser: BRANDOW, S. L, CHEN, M.-S, WANG, T, DULCEY, C. S, CALVERT, J. M, BOHLAND, J. F, CALABRESE, G. S, DRESSICK, W. J
Format: Artikel
Sprache:eng
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