Micro-forming of PMMA for optical components

This paper describes the micro forming of polymethyl methacrylate (PMMA) to fabricate an array of micro mirror for an optical switch component. A die for micro forming is fabricated from Si master die by Ni electroforming and the subsequent KOH etching in order. Micro forming is performed by transfe...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Key engineering materials 2002-12, Vol.233-236, p.685-690
Hauptverfasser:	Hanada, K, Hashiura, Y, Maeda, R, Sano, T, Negishi, H
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!