A study of piezoelectric orthorhombic Ta2O5

In 1985 it was first reported that monoclinic Ta2O5 has piezoelectric properties comparable to ZnO. In this work we report on the deposition, characterization, and qualitative assessment of the piezoelectric behavior of orthorhombic Ta2O5. Reactive magnetron sputtering was used to deposit thin films...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Journal of materials research 1998-02, Vol.13 (2), p.475-482
Hauptverfasser:	Jooste, B. R., Viljoen, H. J.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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