Pulsed laser deposition of diamondlike hydrogenated amorphous carbon films
Diamondlike hydrogenated amorphous carbon films have been deposited for the first time by pulsed ruby laser deposition (PLD) from pyrolytic graphite in hydrogen partial pressure. A hint in the IR absorption spectrum at 2920 cm−1 provides an evidence for the incorporation of hydrogen in the film. Ram...
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Veröffentlicht in: | Journal of applied physics 1990-12, Vol.68 (11), p.5648-5652 |
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Hauptverfasser: | , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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Online-Zugang: | Volltext |
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