An Auger electron spectroscopy study of annealed gold contacts to InP

Auger electron spectroscopy operated in different modes was used in this study to obtain information on the annealed Au/InP system. Noticeable lateral spreading of gold contacts was observed after 400 °C annealing, with the most dramatic edge effects visible between 430 and 500 °C annealing. It was...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Thin solid films 1992-07, Vol.215 (1), p.42-49
Hauptverfasser: Barnard, W.O., Malherbe, J.B., Auret, F.D., Myburg, G.
Format: Artikel
Sprache:eng
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!