An Auger electron spectroscopy study of annealed gold contacts to InP
Auger electron spectroscopy operated in different modes was used in this study to obtain information on the annealed Au/InP system. Noticeable lateral spreading of gold contacts was observed after 400 °C annealing, with the most dramatic edge effects visible between 430 and 500 °C annealing. It was...
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Veröffentlicht in: | Thin solid films 1992-07, Vol.215 (1), p.42-49 |
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Hauptverfasser: | , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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Online-Zugang: | Volltext |
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