Electron and chemical kinetics in methane rf glow-discharge deposition plasmas

Experimental measurements and theoretical modeling of methane deposition plasmas have led to the identification of the most likely homogeneous and heterogeneous reaction paths leading to the deposition of amorphous carbon thin films. Experimental measurements of the voltage, current waveforms, mass...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Journal of applied physics 1989-01, Vol.65 (1), p.70-78
Hauptverfasser:	Kline, Laurence E., Partlow, William D., Bies, William E.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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