High spectral and angular resolution studies of sputtered zirconium atoms

We present the first results from a new apparatus for high spectral and angular resolution studies of sputtered neutral species. The sputtering experiments employ laser‐induced fluorescence and a compact fiber‐optic‐based detection system to yield state‐specific angular distributions for the sputter...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Surface and interface analysis 1989-10, Vol.14 (10), p.607-610
Hauptverfasser:	Cullin, D. Wm, Moryl, J. E., Jones, P. L.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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