Platinum wire wedge bonding: a new IC and microsensor interconnect
We describe a new means of making electrical connections between die and chip header. Interconnects are made by using a conventional wire bonder to ultrasonically wedge bond 0.032 mm diameter Pt wires to both Pt and Al thin films. Interconnects made in this manner are remarkably strong. Electrical m...
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Veröffentlicht in: | Journal of electronic materials 1988-07, Vol.17 (4), p.285-289 |
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Hauptverfasser: | , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Schlagworte: | |
Online-Zugang: | Volltext |
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