Enhancement in the photonic response of ZnO nanorod–gated AlGaN/GaN HEMTs with N2O plasma treatment
We demonstrate an improvement in the photoresponse characteristics of ultraviolet (UV) photodetectors (PDs) using the N 2 O plasma-treated ZnO nanorod (NR) gated AlGaN/GaN high electron mobility transistor (HEMT) structure. The PDs fabricated with ZnO NRs plasma-treated for 6 min show superior perfo...
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Veröffentlicht in: | Optics express 2020-09, Vol.28 (19), p.27688-27701 |
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Hauptverfasser: | , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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