Chromatic confocal displacement sensing at oblique incidence angles

A commercial chromatic confocal displacement sensor, designed for probing a target at normal incidence, is adapted to probe reflective targets at an oblique incidence angle. The sensor is modified by positioning two low-cost optical elements-a collimating lens and a retro-reflector-in the reflection...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Applied optics (2004) 2020-04, Vol.59 (10), p.3183-3186
Hauptverfasser:	Berkovic, G, Zilberman, S, Shafir, E, Rubin, D
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Collimation Incidence angle Microscopes Optical components
Online-Zugang:	Volltext
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