Room-Temperature Ozone Sensing Capability of IGZO-Decorated Amorphous Ga2O3 Films

In present work, we report a room-temperature ozone sensor using InGaZnO (IGZO)-decorated amorphous Ga2O3 (a-Ga2O3) thin films. The gas sensing tests demonstrate that the topmost IGZO modification can significantly promote the sensors’ responsivity. Intriguingly, the sensing capability presents a fi...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	ACS applied materials & interfaces 2020-02, Vol.12 (7), p.8929-8934
Hauptverfasser:	Sui, Yanxin, Liang, Huili, Chen, Quansheng, Huo, Wenxing, Du, Xiaolong, Mei, Zengxia
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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