New sputter-cleaning system for metallic substrates

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Thin solid films 1976-02, Vol.32 (1), p.68-68
Hauptverfasser:	Schiller, S., Heisig, U., Steinfelder, K.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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