Aluminum alloy film deposition and characterization
A flash evaporation system which utilizes a mechanism for feeding alloy wire onto a heated bar was used for the deposition of aluminum-silicon, aluminum-copper and aluminum-copper-silicon. The effect of deposition conditions and processing procedure on film composition and microstructure was determi...
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| Veröffentlicht in: | Thin solid films 1974-02, Vol.20 (2), p.261-279 |
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| Format: | Artikel |
| Sprache: | eng |
| Online-Zugang: | Volltext |
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