Femtosecond laser written waveguides deep inside silicon

Photonic devices that can guide, transfer, or modulate light are highly desired in electronics and integrated silicon (Si) photonics. Here, we demonstrate for the first time, to the best of our knowledge, the creation of optical waveguides deep inside Si using femtosecond pulses at a central wavelen...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Optics letters 2017-08, Vol.42 (15), p.3028-3031
Hauptverfasser:	Pavlov, I, Tokel, O, Pavlova, S, Kadan, V, Makey, G, Turnali, A, Yavuz, Ö, Ilday, F Ö
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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