Crack-Photolithography for Membrane-Free Diffusion-Based Micro/Nanofluidic Devices
Recent advances in controlling the cracking phenomena established a novel unconventional fabrication technique to generate mixed-scale patterns/structures with resolution and accuracy comparable to conventional nanofabrication techniques. Here, we adapt our previous cracking-assisted nanofabrication...
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Veröffentlicht in: | Analytical chemistry (Washington) 2015-11, Vol.87 (22), p.11215-11223 |
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Hauptverfasser: | , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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Online-Zugang: | Volltext |
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