Crack-Photolithography for Membrane-Free Diffusion-Based Micro/Nanofluidic Devices

Recent advances in controlling the cracking phenomena established a novel unconventional fabrication technique to generate mixed-scale patterns/structures with resolution and accuracy comparable to conventional nanofabrication techniques. Here, we adapt our previous cracking-assisted nanofabrication...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Analytical chemistry (Washington) 2015-11, Vol.87 (22), p.11215-11223
Hauptverfasser: Kim, Minseok, Kim, Taesung
Format: Artikel
Sprache:eng
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